一上海盛剑环境系统科技股份有限公司一

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Local Scrubber是为集成电路、半导体显示、新能源等行业工艺制程中所产生的有毒有害副产物提供一个高效的气体处理装置，针对不同工艺副产物的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式 。

干式真空泵是指不使用油或液体进行密封的非接触式真空泵。这种泵不会发生水和油的倒流和扩散，能够获得洁净的真空环境。并且无需补充或更换水、油等定期维护作业，方便使用。

温控设备 (Chiller) 主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制 , 主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡循环装置。

剥离光刻胶效果好，对其它膜层无腐蚀，安全环保，回收率高。

可蚀刻 Cu/Ag/Al/Mo/Nb/Ti 等膜层，选择比高。

① Cu蚀刻液：一剂型 / 两剂型 寿命高、安全稳定；

② Ag蚀刻液：磷酸系 / 非磷酸系、ITO/Ag/ITO一步刻蚀、无Al侧刻。